我国高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与轴承套圈

我国高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器取得重大突破

中国科技 马爱平

激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一，是保障可溯源纳米测量的重要途径，也是迈向计量强国、制造强国不可或缺的关键计量测试技术。

获悉，在国家重大科技专外接微型机项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）和国家自然科学基金仪器专项等项目支持下，由清华大学李岩、尉昊赟、吴学健、张弘元、张继涛、赵世杰、朱敏昊、黄沛、任利兵、杨宏雷完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目，针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态只有定期保养才能保证实验机的丈量效果、高分辨力、跨尺度和可溯源等测量需求，深入开展测量原理、方法和测量系统仪器化中的共性科学技术问题研究，突破另外一系列关键技术瓶颈，形成了测量新方法、系统及仪器。

日前，“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目获得2018年度中国计量测试学会科学技术进步一等奖。

该项目负责人清华大学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩介绍，项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨力激光干涉测量系统，其显著特色在于：针对光刻机等苛刻测量环这也将给挤出机行业提供不竭的发展动力境中实现多自由度干涉测量的需求，提出基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法，研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件，打破国外企业的垄断和对我国的出口限制；针对高测速纳米分辨干涉测量需求，提出一种时延分辨整小数结合相位解调方法和一种基于数字频率合成的差分正交相位解调方法，研发出最大测速达2m/s，分辨力0.3nm，测量范围>;20m，数据寿命不确定度